| Module | Title | LV Type | CP | LV | Dates | Examination |
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| Design elements of microsystems technology | Konstruktionselemente der Mikrosystemtechnik | Fach-/Modulprüfung | 6 | 564450 | | Fr 21.08.2026 12:00-14:00 Extern |
| Mikrotechnische Konstruktion | Fach-/Modulprüfung | 6 | 564451 | | |
| Microsystems development | Entwicklung von Mikrosystemen | Fach-/Modulprüfung | 6 | 568081 | | |
| Entwicklung von Mikrosystemen | Vorlesung/Übung | | 560372 | Do 08:15-12:15 t.b.d. (×12) | |
| Entwicklung von Mikrosystemen | Vorlesung/Übung | | 560372 | Do 08:15-12:15 t.b.d. (×12) | |
| Ultra-Precision Technology I | Ultrapräzisionstechnik I | Fach-/Modulprüfung | 6 | 567467 | | |
| Ultrapräzisionstechnik I | Vorlesung/Übung | | 560932 | | |
| Ultra-Precision Technology: Machines | Ultra-Precision Technology: Machines | Fach-/Modulprüfung | 6 | 567473 | | |